MEMS 熱氣致動蠕動式微幫浦系統

近年來，微機電系統技術應用在生醫流體檢測上有急速的發展，藉由檢測系統的微小化，可縮短檢測與反應的時間，減少試劑的用量，及降低人力操作上的需求。

在微流體系統中，微幫浦(micropump)屬於系統的驅動者，主要作用為精確的運輸微量流體，於系統中扮演關鍵的角色。

熱氣致動蠕動式微幫浦藉由加熱及自然冷卻的機制來改變腔體內的壓力變化，使覆蓋腔體上的薄膜依序產生運動，推擠流體向前。

在應用上具有輸出體積(volume stroke)大、施加電壓小、結構簡單且製作容易等優點。